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产品介绍：主要特点：碳化硅悬臂桨性能稳定，在高温环境下不变形，晶圆装载量大，耐急冷急热，热膨胀系数小，使用寿命长，极大的延长了设备维护清洗周期，并大幅减少污染物。应用范围：反应烧结碳化硅悬臂桨是光伏及半导体晶圆装载系统的关键部件。
主要特点：
碳化硅悬臂桨性能稳定，在高温环境下不变形，晶圆装载量大，耐急冷急热，热膨胀系数小，使用寿命长，极大的延长了设备维护清洗周期，并大幅减少污染物。
应用范围：
反应烧结碳化硅悬臂桨是光伏及半导体晶圆装载系统的关键部件。
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